磁懸浮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
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磁懸浮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M

Pfeiffer 普發磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上海伯東德國 Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范圍在 1400-2800l/s 的磁懸浮渦輪分子泵. ATH 系列磁懸浮分子泵擁有5軸磁軸承監測系統和實時的轉子位移自動修正功能確保長時間的穩定性和可靠性, 同時運行時也非常安靜. 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 系列廣泛應用于半導體, 鍍膜和離子刻蝕等行業.

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 優點
1. 清潔無油, 大抽速
2. 免維護低成本保養費
3. 渦輪分子泵極低的噪音和震動
4. 可任意角度安裝
Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M,ATP 2300M

P
feiffer
磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 技術參數

分子泵型號

分子泵連接尺寸 DN

抽速 l/s

壓縮比

最高啟動壓強hPa

極限壓力

全轉速氣體流量hPa l/s

啟動時間

重量

進氣口

排氣口

氮氣
N2

氦氣He

氫氣 H2

氮氣
N2

氮氣N2

hPa

氮氣N2

min

kg

ATH 1603 M

ATH 1600 MT

250

40

1,400

970

540

> 1X108

1.7

< 6X10–9

67

6

42

ATH 2303 M

ATH 2300 MT

250

40

2,150

1,800

1,100

> 1X108

2.9

< 6X10–9

67

8

68

ATH 2800 M

ATH 2800 MT

250

40

2,200

2,400

1,550

> 1X108

2.1

< 6X10–9

84

10

93

ATH 3200 M

ATH 3200 MT

320

40

2,800

2,500

1,700

> 1X108

2.1

< 6X10–9

84

10

93

ATP 2300 M

320

40

1,950

2,050

1,700

> 1X108

2.1

< 6X10–9

37

8

60

MT 型號的分子泵配有集成加熱帶可以進行溫度控制. 其自帶加熱系統和水冷系統同時作用, 可以確保泵的工作溫度相對恒定 (最高工作溫度75°C), 同時最小化過程化學物或副產物在泵體內因冷凝而產生的沉積.

上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵干泵共同使用. 推薦分子泵典型應用 >>

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